如果试样表面存在严重的氧化皮、毛刺或较大的加工余量，应先用低目数的砂纸进行粗磨，快速去除这些杂质和不平整部分，如 40# - 60# 的砂纸，之后再用较高目数的砂纸进行细磨和精磨。
对磨样后的试样进行检查，确认表面质量是否符合光谱分析的要求。如有需要，可使用表面粗糙度测量仪等设备对试样表面粗糙度进行测量，并记录相关数据。同时，对磨样过程中的砂纸目数、磨样时间、压力等参数进行记录，以便后续参考和追溯。
目数与粒度之间存在着反比例关系。目数越高，说明筛网的孔越细，能通过筛网的磨料颗粒就越小，即粒度越小。反之，目数越低，筛网的孔越大，通过的磨料颗粒就越大，粒度也就越大。在实际应用中，存在一些经验性的目数与粒度对应数据，如 100 目的砂纸，其磨料粒度大约为 150μm；200 目的砂纸，粒度约为 75μm；400 目的砂纸，粒度约为 38μm 等。但不同厂家生产的砂纸可能会存在一定的差异。
