适配半导体、PCB板、芯片制造等精密场景,以升级款PSA技术为核心,氮气纯度可达99.99%-99.9999%。搭载超精密过滤系统,颗粒过滤精度0.01μm,可去除挥发性有机物与微量杂质,防污染密封结构契合电子车间无尘、低噪要求。压力流量波动误差≤±0.01MPa,有效避免元件氧化、短路损伤,广泛应用于晶圆制造、芯片封装、SMT贴片焊接保护等环节,助力提升产品良率。
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电子制氮机
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