真空烧结炉主要用于电子器件、可控硅模块、热敏电阻、磁性材料、陶瓷金属化行业在真空环境下进行烧结、封装、退火、焊接等工艺。
真空炉技术指标：
真空室工位数：1-3位
真空度：1Pa，加扩散泵为5x10-3Pa
工作温度：<1200℃
控温精度： ±1℃
充气的高压强：0.3Mpa（可控）
不锈钢内胆：Φ150mm-Φ350mmx1300 mm
恒温区：600-1200mm±1 ℃
控温方式：三点三段采用原装进口控温器
控温曲线：9段升降温/999小时
工作方式：自动或手动自由转换
正压、负压均采用数字显示表
双工位交替工作，行走X、Y方向
青岛福润德微电子设备有限公司是一家集控制技术、真空技术、热工技术为一体的高新技术企业。
目前的主要产品有：太阳能扩散炉、程控高低温扩散炉、微控高低温扩散炉、热氧化扩散炉、低压
化学气相沉积设备，真空烧结炉、氢气炉、链式烧结炉、隧道炉、LED合金炉、LED交换炉
、高纯材料提纯氧化炉、升华炉、还原炉、精馏炉、智能温度控制系统和替代进口的扩
散炉炉体、PECVD炉体及采用德国技术生产的涡街流量计，同时承接各种微电子生产线及进口半导
体设备的翻新改造工作。
