进口环境监测设备需要哪些资料

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单晶炉                                  9、光刻机

2、气相外延炉                              10、反应离子/等离子体刻蚀系统设备     

3、分子束外延系统设备                      11、离子注入机

4、氧化炉                                  12、探针测试台

5、低压化学气相淀积系统设备                13、晶片减薄机

6、等离子体增强化学气相淀积系统设备        14、晶圆划片机

7、磁控溅射台                              15、引线键合机等

8、化学机械抛光机

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